适用于半导体液态化学品测量

该折光仪外形紧凑，流通池采用改良超纯 PTFE 而成，适用于半导体液态化学品测量。可通过 ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。
维萨拉 K-PATENTS? 半导体行业用折光仪 PR-23-MS 内置的流通池由改良超纯 PTFE 制成，旨在防止任何金属和易腐蚀部件与工艺过程中的液体接触。与液体接触的所有部件均为改良超纯 PTFE 和蓝宝石棱镜。
PR-23-MS 直接通过柱形或喇叭形配件串接进行安装。紧紧凑型设计方便集成到机台或机柜里，而无需占用过多有限空间。
该折光仪通过光学原理测量溶液折射率来获得溶液浓度。正是凭借这一原理，同一台仪器可用于各种溶液测量。
PR-23-MS 可提供连续的 4-20 mA 或数字测量信号，并在化学物质的浓度超出规定的范围时向控制系统提供即时反馈。PR-23-MS 是一种小型设备，易于安装，适用于散装化学品配送、使用点化学品调配、制程中浓度变化监测。
维萨拉 K-PATENTS? PR-23-MS 可帮助您实现：防止错误的化学品进入制造流程。
优化蚀刻工艺并延长蚀刻液（例如加热的 KOH）的使用时间。
通常可使晶圆的产量提高 5%，并减少 FEOL 和 BEOL 清洗工艺中清洗化学品的消耗（例如 SC-1 或 EKC-265）。
对 CMP 浆料进行严格控... [详细介绍]